中芯国际等在光刻机和芯片代工方保质面取得了积极进展，其成功的背后也是离不开ASML光刻机技术，中科科美分别研制了直线式劳埃透保质期镜镀膜茶叶装置和纳米聚焦镜镀膜装置。
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