群志 开发出设备技术超前光电的产品，使用到的专利技术也是不计其数，国外对志光光刻机的制造技术，
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如果没有高端光刻光电机，至少要突破光源、光学群志投影物镜、激光矫正器、掩模版、曝志光光台等核心部件，
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