国产芯振动片实现70%自给率的目标，在全力攻克半导体产业的光刻机等关键设备、材料、制造技术难关。其电子束斑的电振动监测子密度呈高斯分布监测。
2、振动监测系统
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5、设备振动测量仪器
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8、振动检测仪使用方法
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