芯片制造的核光电心机器是光刻光电机，在第三届进博会上亮相。阿斯麦仍没有向中芯国际交付。
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该系列光刻机光电采用ghi线的高功率汞灯作为曝光光源，但是能转化的光电专利有多少光电呢，
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