就是用的华卓的双工件台。目前正在研奇侠制下一代28nm工艺节点用浸没光刻机；我国将奇侠在今年或者明年推出浸没式DUV光刻机，
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随着台积电制造的芯片越多，在这批光刻机产品的生产和研奇侠发环节之中，
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